Abstract / scope
ISO/TR 19319:2003 provides information for measuring (1) the lateral resolution, (2) the analysis area, and (3) the sample area viewed by the analyser in Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy.
Analyse chimique des surfaces — Spectroscopie des électrons Auger et spectroscopie de photoélectrons — Détermination de la résolution latérale, de l'aire de la surface d'analyse et de l'aire de la surface de l'échantillon contribuant au signal détecté
ISO/TR 19319:2003 provides information for measuring (1) the lateral resolution, (2) the analysis area, and (3) the sample area viewed by the analyser in Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy.