Surface chemical analysis — Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy — Guide to the use of experimentally determined relative sensitivity factors for the quantitative analysis of homogeneous materials
Analyse chimique des surfaces — Spectroscopie des électrons Auger et spectroscopie de photoélectrons — Lignes directrices pour l'utilisation de facteurs expérimentaux de sensibilité relative pour l'analyse quantitative de matériaux homogènes
ISO 18118:2015 gives guidance on the measurement and use of experimentally determined relative sensitivity factors for the quantitative analysis of homogeneous materials by Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy.